98彩票在半导体、集成电路、太阳能光伏、液晶、微电子等行业领域中，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。特种气体是有着易燃易爆、剧毒、腐蚀性等危险性质的气体，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。

98彩票如特种气体中的硅烷(SiH4)为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此，对系统设计的安全性要求十分严格，其中关于气体检测报警系统的设置是十分有必要的，避免气体泄露等危险发生。

特种气体检测装置种类：

98彩票(1) 自燃性、易燃性气体检测采用催化燃烧型检测装置、半导体检测装置、电化学检测装置。

(2) 毒性气体检测采用电化学检测装置。

(3) 根据使用场所的不同确定不同特种气体采样方式，正确选用扩散式检测装置、单点或多点吸人式气体检测装置。

特种气体检测装置的安装位置规定：

1. 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；

2. 生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处；

98彩票3. 生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处；

4. 惰性气体间可能产生窒息的区域；

5. 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；

6. 其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境。

7. 当特种气体相对密度小于或等于0.75时，特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体相对密度大于0.75 时，特气体探测器应设置在释放源下方离地面0.3m~0. 5m处。

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