PECVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置

PECVD设备接scrubber是干什么用的？scrubber 一般接在什么位置？下面由沃飞科技来为大家简单的讲解一下CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置。
Scrubber基本上是专为PECVD设备的尾气处理而设计的一种设备，PECVD尾气一般含有大量Particles以及棘手的未反应易爆易燃或有毒气体排出，Scrubber为降低后端处理的困扰与安全而专门设计的设备。local scrubber专属PECVD单台或多台使用,可分为燃烧式, 加热式, 等离子式, 搭配水洗!

Scrubber设备的分类

scrubber根据不同的工艺，产生不同的尾气；选用不同的处理方式的！

scrubber设备有电加热式、燃气式、吸附式、还有一种是用plasma式，其中吸附式要更换吸附桶，使用起来价格比较高，但维护起来是最方便的。

一般选用可用加热水洗式，水洗加热再水洗式。SiH4在燃烧后会反应成SIO2。NH3与水反应会产生结晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的离子键会在燃烧后打开，再跟水反应成HF。
Scrubber设备的安装位置

Scrubber设备一般安装在设备真空泵pump和废气排出总管之间。有毒有害的废气经过真空泵pump抽压抽到Scrubber设备经过处理后然后在排到厂务。
以上就是沃飞科技为大家简单讲解的关于CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置，希望能给大家提供参考。

98彩票是一家专业从事气体应用系统工程：电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体（液体）系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业； 荣获“国家高新技术企业”认定并取得证书。

工程项目覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案与全国各大院校科研所合作研发的多个国家重点实验室项目，并取得了可喜的成绩。同时为众多高新技术企业和上市企业提供了安全优质的气体应用系统服务，保障其生产和设备的可靠运行！

同时公司拥有AFK/奥飞克、Afklok 、沃飞 等行业知名品牌，自主研发生产的气体混配器、特气柜、气体汇流排、VMB阀门箱、气体减压器、管件接头、阀门仪表等产品畅销于中国大陆和全球26个地区和国家，并获得了多项国家发明专利，为了追求更好品质并给客户提供更高更安全的技术，严格按照ISO9001标准执行各项管理。