依据其化学性质，特气可分为惰性气体、可燃性气体、自燃性气体、氧化性气体及腐蚀性气体几种。

工业上常用的惰性气体有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等；可燃性气体有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB；自燃性气体有SiH4、PH3等；氧化性气体有NO、NF3等；腐蚀性气体有HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是，很多特气都同时兼具以上两种性质，如SiH2Cl2、SiHCl3同时具有可燃性和腐蚀性。再如Cl2、F2同时具有腐蚀性和氧化性。

一般半导体、光伏等行业在其主体厂房一层都建有专门的特气房，并根据所用气体的种类和性质划分不同的气体间。如果厂房所用特气为高毒、易燃易爆且存储量达到一定值时，则需在离厂房安全距离以外的区域建立气站为产线供气。

气站内根据特气的分类划分不同气体间，如惰性气体间、可燃性气体间、自燃性气体间、腐蚀性气体间。各气体间选择不同的特气供应设备、特气监测设备及防护设施。如惰性气体间需安装氧气侦测器，实时监控房间内氧气浓度，若低于安全限制能及时报警。由于可燃及自燃性气体一旦发生泄漏，则存在爆炸的风险，因此可燃及自燃性气体间在设计上需考虑防爆、消防灭火设施等因素，同时其供应设备内也应配制火焰探测器或者温度探头。

特气根据其性质进行分区管理，不但便于特气运行人员日常操作，发生异常情况能及时处理，而且一旦发生事故则可降低事故风险，减小叠加伤害。

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