在半导体工艺制程中，需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气，这些废气如果没有经过废气处理设备很好的处理便进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

半导体制程工艺中产生的废气类别大概有：一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。

98彩票对于含有酸性/碱性物质的废气，半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远，因此部分酸性/碱性废气在输送至中央废气处理系统前，常因气体特性导致在管道中结晶或粉尘堆积，造成管道堵塞后导致气体外泄，严重者甚至引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全。

所以，在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备98彩票进行就地处理，之后在排入中央处理系统，从而避免事故的发生，这就是为什么应就地配置废气处理设备的原因。