阀门箱VMB（Valve Manifold Box）/阀门盘VMP(Valve Manifold Panel)
是一种内嵌多支分发管与排气管的箱子。它能让气体从单一来源被分配到多点应用 (典型设计为四点, 操作手册有介绍)。对于每个使用点, 气压可被单独地调控, 从而满足个别应用需求。它还提供循环清洁功能和真空抽气功能, 因此能够在无危险气体泄漏的情况下安全地拆卸 VMB 的每一部份。除此以外, 它也能在不影响其它应用点的气体供应下, 清洗某一气体分发管或者对其进行真空抽气。VMB 被设计且制造成为单一气体使用，不能让两种气体共同使用。专为腐蚀性、毒性等危险性气体供应。VMP（Valve Manifold Panel）与VMB区别在于它使用的开放式管道分配部件，一般用于惰性气体。

目前因制程越来越先进，所以产生BSGS的系统，而未达到供应的稳定，且可以一台分配到多台VMB，所以在中间都会在增加VDB 。VDB（Valve Distributing Box）就是VMB的总管,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内，其中的VDB有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。VDB是进二（有一路做BACKUP）路管道，出多路管道。惰性气体可选用VDP（Valve Dispense Panel）。

阀门箱VMB（Valve Manifold Box）/阀门盘VMP(Valve Manifold Panel)硬件简介：
1. 人机界面：作为人与控制器的控制与沟通界面。
一方面可显示系统目前的状况，同事亦可接受操作人员下达的指令，作为系统运作的确认。
2. PLC：整体控制的处理中心。
3. 电磁阀：控制气动阀的开闭。
(电磁阀为可拨式Type，可依需求强制开启电磁阀)
4. 警急遮断按钮：系统发生异常时按此钮关闭盘面气动阀。
5. LED指示灯：以亮灯表示系统目前的状态。
系统正常：（Normal）
存量不足：（Low Quantity）
异常报警：（Shutdown）Or (Warning)
6. 紫/红外线火焰感知器：当感测到火灾发生时作动，将讯息传至PLC处理。
7. 差压设定开关：当箱体与大气压之差压未达设定值动作，将讯息传至PLC处理。
8. 差压计：显示箱体与大气压之差压。
9. 继电器：依电路设计可作为控制或接点之输出。
10. 电源供应器：因控制回路所使用之电源为DC 24V，故需Power Supply做为转换。
11. 温度开关：当感测到箱体温度高于设定值时，将讯息传至PLC处理。
12. I.A过流量开关：当驱动气动阀之软管松脱或爆裂导致流量过大，将输出讯号告知。

安全功能介绍
1. 紧急停止按钮：按下紧急停止按钮即可关断所有的气动阀。
2. 远程紧急停止控制：当远程紧急停止动作驱动则即可关断所有的气动阀。
3. I.A压力开关：当气动阀驱动压力不足时则会输出警报告知。设定压为 0.4 ~ 0.63 Mpa
4. 过温开关：当侦测到箱体环境温度高于设定值时则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。设定温度为70℃
5. 紫/红外线火焰感知器：当感测到火灾发生时作动，则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。
6. 过流量开关：当管路内的流量过大导致驱动过流量开关(EFS)，则会输出警报告知并且自动关闭该使用侧的阀件。
7. 压差开关：当箱体内的压差过小的状态下，则会输出警报告知。设定压差为50 Pa以上。当压差不足，当气体外泄时时易发生气体扩散出箱体，故开启箱体门前敬请注意箱体与大气的压差是否足够。

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