对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。对普通氮气而言，由于其并不作为制程中的反应气体，可以选用经光辉烧结（Bright Anneal）处理的316L不锈钢管，即SS316L BA管，也可以采用经化学清洗（Chemical Clean）处理的316L不锈钢管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6微米。